鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月(yue)23日-鎢(wu)電極(ji)研磨(mo)工藝機(ji)械化焊(han)(han)接(jie)電極(ji)頭表面粗糙度焊(han)(han)接(jie)工藝研磨(mo)機(ji)幾何形狀研磨(mo)砂輪焊(han)(han)縫質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一種減少鎢(wu)化(hua)學機械研磨微刮痕的工藝,提供一半(ban)導體(ti)基(ji)底,其制作鎢(wu)插塞的主(zhu)要(yao)步驟有光阻涂布、微影,蝕刻。
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黝圖1-6銅化學機械拋(pao)光工藝流程圖1-7雙嵌(qian)入形成鎢(wu)插(cha)塞和(he)(he)局(ju)部互連1.3鎢(wu)鑲嵌(qian)圖3—2拋(pao)光速率,均勻性和(he)(he)研磨(mo)臺轉(zhuan)速的依存性(32藝條件拋(pao)光頭壓力-250hap;。
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且所述鎢栓接觸孔或通孔的(de)近圓度有一定提高(gao),并增大了后續(xu)光刻(ke)工藝窗口,增大后續(xu)工藝的(de)穩(wen)定度;所述改善鎢栓化學(xue)機械研磨表現的(de)方法不僅提高(gao)金屬鎢沉積填充層(ceng)研磨的(de)。
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一種改善接觸(chu)孔之鎢化學機(ji)械研(yan)磨后(hou)平坦(tan)性的方法,包括:步驟S1:在硅(gui)基襯底(di)上制(zhi)備前道器件和絕緣介質(zhi)層(ceng);步驟S2:在接觸(chu)絕緣介質(zhi)層(ceng)上淀積對(dui)鎢金屬具(ju)有高研(yan)磨選擇比的。
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多(duo)采(cai)用三級(ji)跳汰、多(duo)級(ji)床(chuang)選(xuan)(xuan)、跳尾(wei)再磨(mo),搖(yao)床(chuang)中礦掃選(xuan)(xuan)的貧(pin)富分選(xuan)(xuan)或合選(xuan)(xuan)的工藝流程。該流程適(shi)應(ying)鎢礦石的特點(dian),避免了(le)過粉(fen)碎,強化了(le)粗(cu)選(xuan)(xuan)段。鄭州華(hua)昌機械制造(zao)有限。
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